유비쿼터스와 RF-ID
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작성일 22-12-15 14:29
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다. 정보기기 관련 시스템의 센서나 프린터 …(투비컨티뉴드 )
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MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)는 초소형 시스템이나 초소형 정밀기계를 말하며 마이크로 시스템, 마이크로 머신, 마이크로 메카트로닉스 등으로도 부르고 있다아 MEMS 장치는 크기가 작기 때문에 아주 좁은 공간에서도 사용할 수 있어 기계장치 또는 사람의 신체 내부에 들어가 여러 가지 활동을 할 수 있다아 MEMS는 전자 및 기계 부품들로 구성되어 있고 초기에는 반도체공법과 소재를 이용하여 만들었다.
