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[자연과학]SEM(Scanning Electron Microscope) 주사 현미경

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작성일 23-12-16 04:30

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기존의 광학현미경의 최대 확대배율은 1,500배이다. 이 값이상은 해상능(Resolution)이라고 하는 렌즈(빛)의 성질에 의해 제한을 받는다. 따라서 1.4의 numerical aperture를 가진 대물렌즈를 사용하면 가시광선([λ]avg 〓 550nm)을 사용하는 광학현미경의 경우에는 0.2 ㎛이다.
광학현미경의 이러한 단점을 극…(drop)

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다. 이러한 관계는 Abbe에 의하여 수학적으로 R 〓 0.61 [λ]/NA로서 표시되었다. 즉 광학현미 경으로는 두 점 사이가 0.2㎛보다 가까운 거리는 구별할 수 없다는 이야기가 된다된다. 분해능 (Resolution)은 illumination system의 파장, 대안렌즈나 대물렌즈의 numerical aperture(NA)에 의해 결정된다된다.레포트/자연과학

[자연과학]SEM(Scanning Electron Microscope) 주사 현미경

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SEM(Scanning Electron Microscope) 주사 현미경
목 차

1. SEM이란

2. SEM의 개발 역사(歷史)

3. SEM의 작동 원리

4. SEM의 구성

5. SEM의 분해능

6. SEM의 시편준비

7. SEM으로 observation한 여러 가지 영상

1. SEM이란
SEM은 주사전자 현미경으로서 고체 상태의 미세조직과 형상을 observation하는데 매우 유용하게 사용되는 analysis(분석) 기기 중 하나이다.

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