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Micro Electronic Mechanical System

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작성일 23-07-17 20:59

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Micro Electronic Mechanical System에 대한 입니다. Microsystem , Micro Electronic Mechanical System기타레포트 ,
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초소형 기계, 초소형 시스템
현미경에 의존하지 않으면 그 존재를 알지 못함
크기는 ㎛이하의 초 미세 구조물 및 전기 시스템
전기적 기계성질을 가지는 어떤 System
MEMS는 마이크로머신이 느끼고 생각하며 운동함

Microsystem

다.
Micro Electronic Mechanical System

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