바이오나노학부 나노 Engineeringtest(실험) 레포트(report) CFL Capillary Force Li…
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작성일 23-10-28 03:58
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기포가 다 없어질 때까지 이 과정을 반복한다.
⑥ wafer에서 PDMS를 벗겨 낸 후 패턴을 확인하고 SEM으로 다시 한번 패턴을 확인한다. 그 결과 imprint의 뛰어난 패턴 형성과 압력을 가할 필요가 없는 microcontact의 advantage(장점)
을 동시에 갖는다…(To be continued )
2. 實驗 theory(이론)
3. Materials and Method.
1)PDMS
① PDMS 60g과 경화제 6g을 종이컵에 따라 스푼으로 잘 저어준다.
② 원하는 master를 잘라낸다. 경우에 따라 시간이 걸릴 수도 있다아 본 實驗은 약 1주일 정도가 지난 후 wafer를 꺼냈음을 미리 알린다.
이 CFL은 한마디로 열을 가해서 고분자의 유동성을 유발하는 nanoimprinting과 microcontact printing의 결합 형태이다. 이는 substrate에 두꺼운 polymer layer를 형성하여 elastomeric mold(탄성체 주형)에 용매를 wetting 하여표면에 thin layer만 패턴을 형성하는 방법이다. 경화제가 제대로 섞이지 않는다면 굳지 않을 수도 있으므로 주의한다. 완전히 굳을 때까지 기다린다. 이 때 주의해야할 점은 거품이 너무 많이 생기지 않도록 해야한다.
② 오븐에 넣고 10분 뒤 꺼내어 위로 떠오른 기포를 제거해준다.
⑤ 20분 정도 기다린 후 wafer를 꺼낸다.
4. Result.
5. Sem Picture
6. Discussion
실험과제/기타





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다. wafer가 녹을 수도 있으므로 바닥에 닿지 않도록 올려놓는다. 주의할 점은 칼로 잘 잘라지지 않으므로 작두를 내리듯이 떼어내야 한다. 이 방법에는 약간의 단점이 존재하는데, 이 단점을 극복하기 위해 Solvent-assisted microcontact molding이 개발되었다.